A TSMC a kifejezetten sikeres 7 nm-es node-ok mellett már nem csak az 5 és 6 nm-es opciók bevezetésén dolgozik, hanem a 3 nm-es node-ot is fejlesztik, amelyről annyit biztosan tudni, hogy GAAFET struktúra lesz alkalmazva rajta, miután ugye a FINFET ilyen kis méretig nem skálázódik.
Az új gyártási eljáráshoz azonban gyár is kell, és a DigiTimes információi szerint a TSMC harminc hektárnyi területet vásárolt meg a Dél-Tajvani Tudományos Parkon belül, vagyis elkezdték előkészíteni annak az üzemnek az építését, amely a tervek szerint 2023-ban, lehetővé tenné a 3 nm-es node-on készülő lapkák tömeggyártását. A konkrét munkálatok várhatóan a következő év folyamán indulnak.
