Társoldalunk az IT Café még az előző héten számolt be arról, hogy tűz ütött ki az ASML berlini gyárában. A vállalat azóta felmérte a keletkezett károkat, és egy friss közleményben tudatták, hogy a DUV (deep ultraviolet) litográfiát használó eljárásokhoz fejlesztett gépek gyártását már újraindították, így ezek esetében nem kell problémákkal szembenézni.

Más a helyzet a modernebb node-okhoz való EUV (extreme ultraviolet) litográfia szempontjából, ugyanis az ezeket a gépeket előállító gyártósoroknál már helyreállításra lesz szükség a gyártás újraindítása előtt. A tűz egyébként annál a területen okozott kárt, amely a waferbilincset állítja elő az EUV-s berendezésekhez.

Az ASML jelenleg terület helyreállítási tervének kidolgozására koncentrál, és ha ezzel kész vannak, akkor be fognak jelenteni egy előzetes időpontot a termelés újraindításával kapcsolatban. Ez viszont biztosan jelent annyi kiesést, hogy az idei tervek módosulnak, így a gyártópartnereknek esetlegesen később kaphatják meg a már leadott rendeléseiket az EUV-s berendezésekre vonatkozóan.